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Private GIT Repository
description de l'appareillage
authorcouturie <couturie@carcariass.(none)>
Mon, 17 Oct 2011 22:27:00 +0000 (00:27 +0200)
committercouturie <couturie@carcariass.(none)>
Mon, 17 Oct 2011 22:27:00 +0000 (00:27 +0200)
biblio.bib
dmems12.tex

index 5eb51eab27b32405fafe015631eb47c74f74b570..a795337dbcea4c925d9b1cb237ed6e47b6b80727 100644 (file)
        pages =                  {446–452},
 }
 
+@article{Sinclair:05, 
+author = {M. B. Sinclair and M. P. de Boer and A. D. Corwin}, 
+journal = {Applied Optics}, 
+keywords = {Interferometry; Interference microscopy},
+number = {36}, 
+pages = {7714--7721}, 
+title = {Long-working-distance incoherent-light interference microscope}, 
+volume = {44}, 
+month = {Dec},
+year = {2005},
+}
+
+
index 5920a5b9801deda344830cc04e1b7c16e4381f3a..ed1709b970b6e5639bed275c3a350dcbbf4fdc23 100644 (file)
@@ -112,8 +112,35 @@ presented.
 \section{Measurement principles}
 \label{sec:measure}
 
-In  order to  develop simple,  cost  effective and  user-friendly probe  arrays,
-authors of ~\cite{AFMCSEM11} have developped a system based of interferometry.
+In order to develop simple,  cost effective and user-friendly cantilever arrays,
+authors   of    ~\cite{AFMCSEM11}   have   developped   a    system   based   of
+interferometry. In opposition to other optical based systems, using a laser beam
+deflection scheme and  sentitive to the angular displacement  of the cantilever,
+interferometry  is sensitive  to  the  optical path  difference  induced by  the
+vertical displacement of the cantilever.
+%%RAPH : est ce qu'on pique une image? génant ou non?
+The system build  by authors of~\cite{AFMCSEM11} has been  developped based on a
+Linnick interferomter~\cite{Sinclair:05}.   A laser beam is first  split (by the
+splitter) into  a reference beam  and a sample  beam that reachs  the cantilever
+array.  In  order to be able  to move the cantilever  array, it is  mounted on a
+translation  and rotational  stage with  five  degrees of  freedom. The  optical
+system is also fixed to the stage. Thus, the cantilever array is centered in the
+optical system which can be adjusted accurately.  The beam illuminates the array
+by a  microscope objective and the  light reflects on  the cantilevers. Likewise
+the reference beam reflects on a movable mirror.  A CMOS camera chip records the
+reference and  sample beams which  are recombined in  the beam splitter  and the
+interferogram. At the beginning of each experiment, the movable mirror is fitted
+manually in order to align the interferometric fringes approximately parallel to
+the  cantilevers. When  cantilevers  move due  to  the surface,  the bending  of
+cantilevers produce movements in the fringes  that can be detected with the CMOS
+camera.  Finally  the fringes  need  to  be  analyzed. In~\cite{AFMCSEM11},  the
+authors used  a LabView program to  compute the cantilevers'  movements from the
+fringes.
+
+
+
+
+
 
 
 \subsection{Architecture}